Appareil de calibrage pour circuits integres

Calibration apparatus for integrated circuits

Eichungsapparat für integrierte schaltungen

Abstract

Appareil destiné à calibrer un système d'analyse de circuit intégré comprenant un substrat ayant un ensemble essentiellement plan de composants à film mince (1-9) formés sur ledit ensemble. Les composants sont munis de tampons de contact comprenant chacun un espacement qui permet à l'extrémité d'une sonde de guide d'ondes coplanaire du système d'analyse de s'engager dans lesdits composants. Ledit appareil permet de corriger des erreurs sous la commande d'un ordinateur, fournissant des mesures de paramètres de diffusion devant être effectuées avec des plans de référence situés aux extrémités de la sonde, évitant ainsi la nécessité d'avoir recours à des techniques sophistiquées d'extraction sujettes à erreurs.

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