Installation de traitement sous vide de substrats

Anlage zum bearbeiten von substraten unter vakuum

Installation for vacuum processing of substrates

  • Inventors: BOK, EDWARD
  • Assignees: BOK, Edward
  • Publication Date: March 19, 1986
  • Publication Number: EP-0174330-A1

Abstract

Installation (10) pour le traitement sous vide de substrats (12), comportant un module sous vide (14) dans lequel prend place le traitement sous vide desdits substrats (12), un module de réduction (16) comportant un dispositif de porte (24) dans lequel a lieu une baisse de pression de la pression atmosphérique au vide, ainsi qu'un module d'augmentation de la pression (18) comportant un dispositif de porte (76) dans lequel a lieu une augmentation de pression du vide à la pression atmosphérique.

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    See references of WO 8504071A1

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